Karliczek: Deutscher Zukunftspreis 2020 würdigt Forschende für Technologiesprung in der Mikroelektronik

25.11.2020

Bundesforschungsministerin gratuliert den diesjährigen Preisträgerinnen und Preisträgern

Am heutigen Mittwoch wurde der „Deutsche Zukunftspreis – Preis des Bundespräsidenten für Technik und Innovation“ durch Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier in Berlin verliehen. Ausgezeichnet wurde das Team um Peter Kürz von Carl Zeiss, Michael Kösters von TRUMPF und Sergiy Yulin vom Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik in Jena für ihre Beiträge zur Erforschung, Entwicklung und Industrialisierung der EUV-Lithographie. Dabei handelt es sich um Maschinen zur Chipherstellung mit den kleinsten heutzutage möglichen Strukturen mittels extrem ultraviolettem (EUV-) Licht. 

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